| 基于特征函数的空间点光强的快速算法 |
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| 引用本文： | 周珂,陈晔,沈珊瑚,史峥.基于特征函数的空间点光强的快速算法[J].半导体光电,2007,28(1):54-57. |
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| 作者姓名： | 周珂 陈晔 沈珊瑚 史峥 |
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| 作者单位： | 浙江大学,电气工程学院,浙江,杭州,310027;浙江大学,电气工程学院,浙江,杭州,310027;浙江大学,电气工程学院,浙江,杭州,310027;浙江大学,电气工程学院,浙江,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法,即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的SOCS算法,并提出了优化的N的取值方案.该方案充分考虑了光刻系统参数对N的取值影响.实验结果证明,采用新的N取值方案的近似算法是一种高精度的算法.
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| 关 键 词： | 空间点光强 Hopkins公式 特征函数 SOCS |
| 文章编号： | 1001-5868(2007)01-0054-04 |
| 修稿时间： | 2006-03-16 |
Approximate Point Intensity Algorithm Based on Eigenfunctions |
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| ZHOU Ke,CHEN Ye,SHEN Shan-hu,SHI Zheng.Approximate Point Intensity Algorithm Based on Eigenfunctions[J].Semiconductor Optoelectronics,2007,28(1):54-57. |
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| Authors: | ZHOU Ke CHEN Ye SHEN Shan-hu SHI Zheng |
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| Affiliation: | College of Electrical Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, CHN |
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| Abstract: | An approximate algorithm,i.e.,SOCS algorithm,calculating spatial point intensity of partially coherent optical imaging system,has been discussed.In this algorithm,Hopkins equation is expanded into the sum of N order coherent systems through using eigenfunction resolution.An optimized strategy about how to choose N is presented,which considers the effects of lithography system parameters on N values.The high precision of the algorithm with new N-strategy is proved by experiments. |
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| Keywords: | spatial point intensity Hopkins equation eigenfunction SOCS |
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