| Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌和光学性质 |
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| 引用本文： | 吕建国,宋学萍,孙兆奇.Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌和光学性质[J].半导体光电,2009,30(1). |
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| 作者姓名： | 吕建国 宋学萍 孙兆奇 |
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| 作者单位： | 1. 安徽大学物理与材料科学学院,合肥230039;合肥师范学院物理与电子工程系,合肥230061
2. 安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，教育部高等学校博士学科点专项科研基金，安徽省人才专项基金，安徽科技厅重点项目，安徽省高等学校省级自然科学研究项目，安徽省高等学校青年教师科研资助计划，安徽大学人才队伍建设基金 |
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| 摘 要： | 用原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和荧光光谱仪观察采用溶胶-凝胶法制备的Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌、透射光谱和光致发光谱.结果表明,Al掺杂量为0.5at 9/6的ZnO薄膜经550℃退火处理后,粗糙度为1.817,Al掺杂量为1.0at%的ZnO薄膜经600℃退火处理后,粗糙度增大到4.625.样品在可见光范围内的平均透过率均大于80%.当激发波长为325 nm时,在397 nm(3.13 eV)附近出现紫外发光峰;当激发波长为360 nm时,在443 nm(2.80 eV)附近出现蓝色发光峰.探讨了样品的蓝光发光机制.
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| 关 键 词： | Al掺杂ZnO薄膜 粗糙度 光致发光 透射光谱 |
Surface Topography and Optical Properties of Al-doped ZnO Thin Films by Sol-gel Process |
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| LV Jian-guo,SONG Xue-ping,SUN Zhao-qi.Surface Topography and Optical Properties of Al-doped ZnO Thin Films by Sol-gel Process[J].Semiconductor Optoelectronics,2009,30(1). |
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| Authors: | LV Jian-guo SONG Xue-ping SUN Zhao-qi |
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