| 固态封装型的体声波谐振器的制备与性能分析 |
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| 引用本文： | 熊娟,顾豪爽,胡宽,吴小鹏,吴雯.固态封装型的体声波谐振器的制备与性能分析[J].压电与声光,2009,31(5). |
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| 作者姓名： | 熊娟 顾豪爽 胡宽 吴小鹏 吴雯 |
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| 作者单位： | 湖北大学,物理学与电子技术学院,湖北,武汉,430062 |
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| 基金项目： | 武汉市科技公关计划基金资助项目 |
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| 摘 要： | 以Ti/Mo为布喇格反射层,在Mo底电极上沉积了高c轴择优取向的AlN薄膜,并采用微机电系统(MEMS)工艺制备了固态封装型体声波谐振器.用原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)测试了布喇格反射层的粗糙度和截面,用微波探针台和网络分析仪测试了以优化工艺参数条件制备的谐振器(FBAR)的频率特性,得到谐振器的谐振频率为2.51 GHz,有效机电耦合系数为3.89%,串并联品质因数为134.2和97.8.
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| 关 键 词： | 布喇格发射层 体声波谐振器 表面粗糙度 |
Fabrication and Characteristic Analysis of Solidly-mounted Film Bulk Acoustic Resonator |
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| XIONG Juan,GU Hao-shuang,HU Kuan,WU Xiao-peng,WU Wen.Fabrication and Characteristic Analysis of Solidly-mounted Film Bulk Acoustic Resonator[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2009,31(5). |
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| Authors: | XIONG Juan GU Hao-shuang HU Kuan WU Xiao-peng WU Wen |
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