| 基于SEM的压电式微纳操纵系统 |
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| 引用本文： | 李勇滔,韩立,殷伯华,吴震,刘俊标.基于SEM的压电式微纳操纵系统[J].压电与声光,2010,32(5). |
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| 作者姓名： | 李勇滔 韩立 殷伯华 吴震 刘俊标 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,电工研究所,北京,100190;中国科学院,研究生院,北京,100049
2. 中国科学院,电工研究所,北京,100190 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 微纳操纵系统是当前先进制造技术领域的一个重要发展方向.为了实现在亚微米及纳米尺度下进行实时观测下的操纵,设计了一种基于扫描电镜(SEM)的压电式微纳操纵系统,本系统由数字式环境扫描电子显微镜系统、精密工件台、微纳操作机构、图形发生器和计算机系统组成,采用数字式环境扫描电子显微镜作为微纳操作的观测器,在SEM的样本室内安装微纳操作臂,计算机系统控制微纳操作臂,使其在SEM的实时观测下对放置在精密工件台上的样本进行操纵,并且还可利用图形发生器进行电子束曝光以制备微纳结构.实验证明,本系统不仅能适于在各种环境下进行微纳操纵,且还可制作微纳结构,具有很强的实用性.
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| 关 键 词： | 扫描电镜(SEM) 压电电机 微纳操纵 |
Piezoelectric Micro-Nano Manipulating System Based on SEM |
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| LI Yongtao,HAN Li,YIN Bohua,WU Zheng,LIU Junbiao.Piezoelectric Micro-Nano Manipulating System Based on SEM[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2010,32(5). |
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| Authors: | LI Yongtao HAN Li YIN Bohua WU Zheng LIU Junbiao |
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