首页 | 官方网站   微博 | 高级检索  
     

基于晶格动力学的纳米薄膜热特性研究
引用本文:李圣怡,黄建平.基于晶格动力学的纳米薄膜热特性研究[J].微纳电子技术,2008,45(5):249-254.
作者姓名:李圣怡  黄建平
作者单位:国防科技大学,机电工程与自动化学院,长沙,410073
摘    要:针对分子动力学模拟存在的缺点,提出了基于晶格动力学模拟纳米薄膜热特性的新方法,并用该方法模拟了各种不同厚度的硅和氩纳米薄膜的比热、熔化温度、热膨胀系数和热传导系数等热特性参数。计算结果表明纳米薄膜具有与宏观晶体不同的热特性,并且呈现随纳米薄膜厚度变化的尺寸效应:纳米薄膜越薄,则熔化温度越低、比热越大、面向热膨胀系数越大、法向热传导系数越小;当纳米薄膜厚度远小于相应的宏观晶体的声子平均自由程时,法向热传导系数远小于相应的宏观晶体的热传导系数,并与纳米薄膜厚度成正比。

关 键 词:微/纳机电系统  纳米薄膜  晶格动力学  热特性  尺寸效应
文章编号:1671-4776(2008)05-0249-06
修稿时间:2008年3月3日

Study on Thermal Properties of Nanofilms Based on Lattice Dynamics
Li Shengyi,Huang Jianping.Study on Thermal Properties of Nanofilms Based on Lattice Dynamics[J].Micronanoelectronic Technology,2008,45(5):249-254.
Authors:Li Shengyi  Huang Jianping
Affiliation:Li Shengyi,Huang Jianping(School of Mechatronics , automation,National University of Defence Technology,Changsha 410073,China)
Abstract:To overcome the drawbacks of molecular dynamics simulation,a new approach based on lattice dynamics to simulate the thermal properties of nanofilms was put forward,and was applied to simulate the thermal property parameters,such as the specific heat capacities,melting temperatures,thermal expansion coefficients and thermal conductivities of silicon and argon nanofilms with different thicknesses.The calculating results show that nanofilms have different thermal properties from the corresponding bulk crystal ...
Keywords:micro/nano electromechanical system(M/NEMS)  nanofilm  lattice dynamics  thermal property  size effect  
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司    京ICP备09084417号-23

京公网安备 11010802026262号