| 微机械虚拟运行的实现框架 |
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| 引用本文： | 谭宜勇,赵新,卢桂章.微机械虚拟运行的实现框架[J].微纳电子技术,2003,40(7):31-35. |
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| 作者姓名： | 谭宜勇 赵新 卢桂章 |
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| 作者单位： | 南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(69985006,60173061);国家十五863计划(2002AA422200,2002AA431030);国家973计划"集成微光机电系统"项目(G1999033109);教育部高等学校骨干教师资助计划和天津市自然科学基金共同资助项目 |
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| 摘 要： | 简要论述了虚拟运行在MEMS设计系统中的重要性,引入了动态运动规律和数学库的概念,提出了在单机多任务系统上,以事件发生时间推进的机制,带有多个运动部件及其运动规律的微机械系统虚拟运行实现框架。并结合静电微马达和双金属驱动微流量泵为例,分析了虚拟运行中数学库的组织,动态运动规律的产生过程以及三维可视化的实时问题,所提出并采用的实现框架适用于微马达、微泵、微加速度计等微电子机械系统的设计和虚拟运行。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 虚拟运行 动态运行规律 数学库 多任务系统 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0031-05 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
A feasible framework for virtual operation of MEMS devices |
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