| 硅基PZT压电驱动MEMS光开关的设计与优化 |
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| 引用本文： | 方华军,刘建设,任天令,刘理天.硅基PZT压电驱动MEMS光开关的设计与优化[J].微纳电子技术,2003,40(7):400-403. |
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| 作者姓名： | 方华军 刘建设 任天令 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
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| 摘 要： | 采用压电多层悬臂梁理论分析模型，研究了一种新型PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动光开关的机械性能，探讨了结构参数与悬臂梁机械性能的关系及影响光开关机电性能的因素。提出了一种新的硅基PZT压电复合膜悬臂梁驱动光开关的制作方法。给出了25V工作电压下优化的器件结构，并对理论分析结果与压电复合多层膜悬臂梁的有限元耦合场分析结果进行了比较。
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| 关 键 词： | 光开关 MEMS技术 PZT 设计优化 锆钛酸铅压电复合膜 悬臂梁 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0400-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Design and optimization of MEMS optical switch actuated by piezoelectric cantilever based on Si |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PZT |
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