| MEMS固态风速风向传感器的设计与制作 |
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| 引用本文： | 杜利东,赵湛,庞程.MEMS固态风速风向传感器的设计与制作[J].微纳电子技术,2007,44(7):245-248. |
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| 作者姓名： | 杜利东 赵湛 庞程 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,电子学研究所,传感技术联合国家重点实验室,北京,100080;中国科学院,研究生院,北京,100039
2. 中国科学院,电子学研究所,传感技术联合国家重点实验室,北京,100080 |
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| 摘 要： | 风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位。基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点。设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器，即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式测风传感器，用流体力学原理对这两种风速风向传感器进行了理论分析及ANSYS CFD软件模拟仿真，得出了风速与挠度、剪切力的关系。用惠斯通电桥测量传感器输出信号，通过单个传感器的二次封装测量风向信号。制作出了硅悬梁式测风传感器，并进行了初步测试。
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| 关 键 词： | MEMS技术 ANSYS分析 风速风向 硅薄膜 硅悬梁 |
| 文章编号： | 1671-4776（2007）07/08-0245-04 |
| 修稿时间： | 2007-05-10 |
Design and Fabrication of MEMS-Based Micro Solid State Wind Speed and Direction Sensor |
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| DU Li-dong,ZHAO Zhan,PANG Cheng.Design and Fabrication of MEMS-Based Micro Solid State Wind Speed and Direction Sensor[J].Micronanoelectronic Technology,2007,44(7):245-248. |
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| Authors: | DU Li-dong ZHAO Zhan PANG Cheng |
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| Affiliation: | 1. State Key Laboratory of Transducer Technology, Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China ; 2. Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS technology ANSYS analysis wind speed and direction silicon membrane silicon cantilever |
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