| Si微陀螺结构与接口电路的混合仿真 |
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| 引用本文： | 兰靖,苑伟政,常洪龙,周志广,崔金强.Si微陀螺结构与接口电路的混合仿真[J].微纳电子技术,2009,46(8). |
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| 作者姓名： | 兰靖 苑伟政 常洪龙 周志广 崔金强 |
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| 作者单位： | 西北工业大学微/纳米系统重点实验室,西安,710072 |
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| 摘 要： | 为了快速有效地验证接口电路的可行性,对Si微陀螺建模方法及陀螺结构与接口电路的混合仿真方法进行了研究。在Si微陀螺动力学特性分析的基础上,利用硬件描述语言建立一种以低阶微分方程描述的Si微陀螺解析模型,该模型利用Si微陀螺运动特性来描述陀螺模态之间的耦合行为。利用该模型实现了陀螺结构与接口电路的快速混合仿真。对Si微陀螺自激控制环路进行分析制作了实验电路板,并对电路仿真结果进行了实验验证,测试结果与仿真结果趋势一致。实验表明,该方法能够快速有效地验证接口电路的可行性,为设计Si微陀螺接口电路提供了依据。
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| 关 键 词： | Si微陀螺 自激驱动 微机电系统 解析模型 硬件描述语言 |
Co-Simulation of Silicon Micromechanical Gyroscopes with Interface Circuits |
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| Lan Jing,Yuan Weizheng,Chang Honglong,Zhou Zhiguang,Cui Jinqiang.Co-Simulation of Silicon Micromechanical Gyroscopes with Interface Circuits[J].Micronanoelectronic Technology,2009,46(8). |
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| Authors: | Lan Jing Yuan Weizheng Chang Honglong Zhou Zhiguang Cui Jinqiang |
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