| 测量薄膜折射率的几种方法 |
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| 引用本文： | 孙香冰,任诠,杨洪亮,冯林,Y.T.Chow.测量薄膜折射率的几种方法[J].量子电子学报,2005,22(1):13-18. |
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| 作者姓名： | 孙香冰 任诠 杨洪亮 冯林 Y.T.Chow |
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| 作者单位： | 1. 山东大学光学系,山东,济南,250100
2. 香港城市大学光电子学研究中心,香港,九龙 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，国家重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义.系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析.
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| 关 键 词： | 薄膜光学 折射率 聚合物薄膜 椭偏法 准波导 |
| 文章编号： | 1007-5461(2005)01-0013-06 |
| 收稿时间： | 2003/11/4 |
| 修稿时间： | 2003年11月4日 |
Several methods of measuring the refractive index of the film |
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| Y.T.Chow.Several methods of measuring the refractive index of the film[J].Chinese Journal of Quantum Electronics,2005,22(1):13-18. |
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| Authors: | YTChow |
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| Abstract: | It is important to measure the refractive index of the film precisely for designing and fabricating integrated optical devices. Several methods of measuring the refractive index were introduced and their principles and features were analysed. |
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| Keywords: | thin film optics refractive index polymer thin films ellipisometry quasi-waveguide |
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