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| He~＋离子注入LiNbO_3晶体波导的制备及其性能研究 | |
| 引用本文： | 卓壮,王克明,王象泰,李健.He~＋离子注入LiNbO_3晶体波导的制备及其性能研究[J].量子电子学报,1996(3). |
| 作者姓名： | 卓壮 王克明 王象泰 李健 |
| 作者单位： | 山东师范大学物理系，山东大学物理系 |
| 摘 要： | 本文报导了液氮温度下Ｈｅ＋离子注入ＬｉＮｂＯ３波导的制备，采用棱镜耦合法测量了波导退火前后各导模的有效折射率，计算了波导层折射率的分布和晶体中Ｈｅ＋离子的射程分布和损伤分布，二者吻合得较好。 |
| 关 键 词： | He＋注入，LiNbO_3波导，折射率分布，射程分布 |
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