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| 新型光敏聚酰亚胺微型阀 | |
| 引用本文： | 王晓浩,吕苗.新型光敏聚酰亚胺微型阀[J].半导体情报,1998,35(3):43-47. |
| 作者姓名： | 王晓浩 吕苗 |
| 作者单位： | [1]清华大学精密仪器与机械学系微机械研究室 [2]电子工业部第十三研究所 |
| 摘 要： | 微型阀是微流体测量系统的重要组成部分，本文提出了种微型光敏聚酰亚胺被动阀，分析了该材料性能，叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程，并讨论了加工过程中的一些关键技术。 |
| 关 键 词： | 微型阀 光敏聚酰亚胺 微机电系统 |
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