| 钠钙玻璃微流管道的厚胶湿法腐蚀工艺优化 |
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| 引用本文： | 李其昌,王广龙,王竹林,张姗姗,高敏,高凤岐.钠钙玻璃微流管道的厚胶湿法腐蚀工艺优化[J].微电子学,2013,43(2). |
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| 作者姓名： | 李其昌 王广龙 王竹林 张姗姗 高敏 高凤岐 |
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| 作者单位： | 1. 军械工程学院导弹工程系,石家庄,050003
2. 上海市计量测试研究院在线通用所,上海,200233 |
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| 摘 要： | 为了克服石英玻璃和Pyrex 7740玻璃制作微流管道价格昂贵、工艺流程复杂等缺点,利用普通钠钙玻璃为基质、正光刻胶AZ4620为掩膜牺牲层,提出了一种高效、快速、低成本的微流管道制作方法.该方法优化了腐蚀工艺的关键参数,解决了光刻胶与玻璃的粘附性、光刻胶在腐蚀液中的耐受时间等问题.试验腐蚀深度达到80μm,最小特征尺寸小于50 μm,微流管道侧壁陡直度小于100°,底部平整度误差小于±1.5 μm,制作周期仅需4h左右.
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| 关 键 词： | 微细加工 钠钙玻璃 微流管道 紫外厚胶光刻 湿法腐蚀 |
Optimization of Wet Etching of Thick Photoresist for Micro-Flow Pipeline on Soda-Lime Glass |
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| LI Qichang,WANG Guanglong,WANG Zhulin,ZHANG Shanshan,GAO Min,GAO Fengqi.Optimization of Wet Etching of Thick Photoresist for Micro-Flow Pipeline on Soda-Lime Glass[J].Microelectronics,2013,43(2). |
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| Authors: | LI Qichang WANG Guanglong WANG Zhulin ZHANG Shanshan GAO Min GAO Fengqi |
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