| 基于石墨烯压阻效应的压力传感器研究进展 |
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| 引用本文： | 李方清,李龙飞,王德波.基于石墨烯压阻效应的压力传感器研究进展[J].微电子学,2020,50(1):118-125. |
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| 作者姓名： | 李方清 李龙飞 王德波 |
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| 作者单位： | 南京邮电大学 电子与光学工程学院、微电子学院, 南京 210023 |
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| 基金项目： | 国家青年自然科学基金资助项目(61704086)；中国博士后科学基金资助项目(2017M621692)；江苏省博士后基金 资助项目(1701131B)；南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039)；南京大学近代声学教育部重点实验室开放课题资助项目(1704) |
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| 摘 要： | 与传统的硅阻型压力传感器、陶瓷型压力传感器相比,石墨烯压力传感器具有测量灵敏度更高、测量范围更广的优点。对几种石墨烯压力传感器的研究进展进行综述。根据制作工艺的不同,将石墨烯压力传感器分为单层型和多层型。根据两大类型,列举最近六种石墨烯压力传感器的基本制作过程和测量范围、检测灵敏度等特性。根据六种石墨烯压力传感器的对比结果,得到单层型与多层型石墨烯压力传感器的不同工作特性及应用环境。针对单层型和多层型石墨烯传感器,分别提出提高性能的可行方案,对此类传感器的实际应用与推广具有一定的指导意义。
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| 关 键 词： | 石墨烯 压阻效应 压力传感器 |
| 收稿时间： | 2019/3/22 0:00:00 |
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