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基于MEMS技术的微麦克风的研制

引用本文：	陈兢,刘理天.基于MEMS技术的微麦克风的研制[J].世界产品与技术,2000(10):23-25.

作者姓名：	陈兢刘理天

摘要：
关键词：	MEMS 微麦克风纹膜结构微电子
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