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基于VDMOS结构的浮栅MOS存储机理的核辐射探测器
引用本文:郭群英,周坤.基于VDMOS结构的浮栅MOS存储机理的核辐射探测器[J].集成电路通讯,2008,26(3).
作者姓名:郭群英  周坤
作者单位:中国兵器工业第214研究所,蚌埠233042
摘    要:本文介绍基于VDMOS结构的浮栅MOS管存储机理核辐射探测器的基本概念,简要介绍了浮栅MOS管的结构设计、制作和测试。

关 键 词:VDMOS管  浮栅MOS管  FN(Flowler—Nordheim)隧道效应  开启电压
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