| 大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究 |
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| 引用本文： | 戚二辉,罗霄,郑立功,张学军.大口径非圆形光学平面的五棱镜扫描检测技术研究[J].光电子．激光,2014(7):1370-1375. |
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| 作者姓名： | 戚二辉 罗霄 郑立功 张学军 |
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| 作者单位： | 中国科学院大学,北京 100049 ;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033 ;中国科学院 光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033 ;中国科学院 光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033 ;中国科学院 光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61210015)资助项目 (1.中国科学院大学,北京 100049; 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033； 3.中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033) |
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| 摘 要： | 为了解决非圆形大口径光学平面镜加工过程中的高精度检测问题,针对五棱镜扫描技术,使用一种基于多项式内积以及cholesky分解的非递归方法进行数据处理,同时编写了检测拟合程序,并结合工程实例,对30m望远镜(TMT),thirty meter telescope)项目的三镜(2.5m×3.5m椭圆形平面镜)进行了模拟检测的Monte-Carlo分析。分析结果表明,五棱镜扫描系统对TMT三镜低阶像差的检测精度可以达到30.6nm 5 rms,对power项、astigmatism项的检测精度分别达到9.6nm rms及13.7nmrms,能够完成大口径非圆形光学平面镜低像差的高精度检测。
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| 关 键 词： | 光学检测 五棱镜扫描系统 非递归运算 大口径非圆形平面镜 Monte-Carlo分析 |
| 收稿时间： | 2014/2/17 0:00:00 |
Optical testing of large optical flat mirror with non-circular pupil based on scanning pentaprism technology |
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| QI Er-hui,LUO Xiao,ZHENG Li-gong and ZHANG Xue-jun.Optical testing of large optical flat mirror with non-circular pupil based on scanning pentaprism technology[J].Journal of Optoelectronics·laser,2014(7):1370-1375. |
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| Authors: | QI Er-hui LUO Xiao ZHENG Li-gong and ZHANG Xue-jun |
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| Affiliation: | University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China ;Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Chang chun 130033,China;Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Chang chun 130033,China ;Key Laboratory of Optical System Advanced Manufactu ring Technology,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Chang chun 130033,China ;Key Laboratory of Optical System Advanced Manufactu ring Technology,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Chang chun 130033,China ;Key Laboratory of Optical System Advanced Manufactu ring Technology,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China |
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| Abstract: | In order to solve the difficulty in the optical testing for larg e non-circular flat mirrors,we use a non-recursive algorithm based on the inner products of polyn omials and the cholesky decomposition methods to complete data processing for the scanning pent aprism system (SPS),and develop the corresponding testing data fitting software.Using the Mont e_Carlo technology,we analyze the feasibility for the SPS to test the thirty meter telescope (TMT) te rtiary mirror,which is an elliptical flat mirror with size of 2.5m×3.5m.The s imulation results show that the SPS could measure the low order aberrations of this mirror with root mean square(RMS) error of 30.6nm,especially the power RMS of 9.6nm and astigmatism of 13.7nm,which proves the suitability of S PS in testing low order aberrations of large non-circular pupil optical flat mirrors |
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| Keywords: | optical testing scanning pentaprism system (SPS) non-recursive compu tation large-pupil non-circular flat mirror Monte_Carlo analysis |
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