| 不同基底上银薄膜的光电学性质研究 |
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| 引用本文： | 林建平,兰慧琴,吴杨微,关贵清,赖发春.不同基底上银薄膜的光电学性质研究[J].光电子．激光,2013(1):87-92. |
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| 作者姓名： | 林建平 兰慧琴 吴杨微 关贵清 赖发春 |
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| 作者单位： | 宁德师范学院 物理与电气工程系,福建 宁德 352100;福建师范大学 物理与能源学院 ,福建 福州 350108;福建师范大学 物理与能源学院 ,福建 福州 350108;宁德师范学院 物理与电气工程系,福建 宁德 352100;福建师范大学 物理与能源学院 ,福建 福州 350108 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11074041)、福建省自然科学基金(2012J01256)和宁德师范学院“服务海西建设”(2010H301、2011H208)资助项目 (1.宁德师范学院 物理与电气工程系,福建 宁德 352100; 2.福建师范大学 物理与能源学院 ,福建 福州 350108) |
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| 摘 要： | 用热蒸发的方法,分别在孔径约为200nm的多孔阳极氧化铝(AAO)模板和空白石英基片上室温沉积厚为25～200nm的Ag薄膜样品,研究膜厚对两种样品的微观结构和光电学性质的影响。微观结构利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)观测,光电学性质应用分光光度计及Van derPauw方法检测。结果表明,石英基片上Ag(QuartzAg)薄膜的结晶性能比AAO模板上Ag(AAO-Ag)薄膜的结晶性能好,当厚为200nm时,AAOAg薄膜形成纳米颗粒的叠层结构;AAOAg薄膜的全反射率和QuartzAg薄膜的反射率均遵循随膜厚增加而增加的规律。在同一厚度和同一波长条件下,AAOAg薄膜的光学反射率比QuartzAg薄膜小很多,当厚为109nm时,在可见光和红外光区域,QuartzAg薄膜的反射率超过95%,而AAOAg薄膜的全反射率为40%;QuartzAg薄膜在厚度为25nm时已导电,而AAOAg薄膜的厚度为37nm时才开始导电。对于同一厚度,AAOAg薄膜的方块电阻比QuartzAg薄膜的大,随着膜厚的增加,它们的差值从厚为37nm时的4.90Ω/口逐渐减小到厚为200nm时的0.37Ω/口。
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| 关 键 词： | AAO模板 石英基片 Ag薄膜 热蒸发 光电学性质 |
| 收稿时间： | 2012/7/14 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2012/8/19 0:00:00 |
Study of optical and electrical properties of Ag films deposited on different su bstrates |
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| LIN Jian-ping,LAN Hui-qing,WU Yang-wei,GUAN G ui-qing and LAI Fa-chun.Study of optical and electrical properties of Ag films deposited on different su bstrates[J].Journal of Optoelectronics·laser,2013(1):87-92. |
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| Authors: | LIN Jian-ping LAN Hui-qing WU Yang-wei GUAN G ui-qing and LAI Fa-chun |
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| Affiliation: | Department of Physics and Electric Engineering,Ningde Normal University,Ni ngde 352100,China;College of Physics and Energy,Fujian Normal University,F uzhou 350108,China;College of Physics and Energy,Fujian Normal University,F uzhou 350108,China;Department of Physics and Electric Engineering,Ningde Normal University,Ni ngde 352100,China;College of Physics and Energy,Fujian Normal University,F uzhou 350108,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | anodic aluminum oxide (AAO) template quartz substrate Ag film thermal evapor ation optical and electrical properties |
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