| 用于激光防护非逆向反射双层闪耀光栅的研究 |
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| 引用本文： | 吴博琦,董连和,孙艳军,冷雁冰,王丽.用于激光防护非逆向反射双层闪耀光栅的研究[J].光电子．激光,2016,27(3):259-263. |
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| 作者姓名： | 吴博琦 董连和 孙艳军 冷雁冰 王丽 |
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| 作者单位： | 长春理工大学 光电学院,吉林 长春 130022;长春理工大学 光电学院,吉林 长春 130022;长春理工大学 光电学院,吉林 长春 130022;长春理工大学 光电学院,吉林 长春 130022;长春理工大学 光电学院,吉林 长春 130022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11474037)资助项目 (长春理工大学 光电学院,吉林 长春 130022) |
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| 摘 要： | 提出一种用于激光(工作波长为1064nm)防护的非逆反射双层闪耀光栅。以光栅方程、闪耀波长 和闪耀 角关系公式为基础,研究了双层闪耀光栅光线分布特性,分析了上下微结构闪耀角度关系； 设计了双层闪 耀光栅各特性参数,其上、下层光栅闪耀角分别为50°和6°,周期均为5.2μm,光学元件厚为0.5mm, 在下表面镀Ag反射膜。采用反应离子刻蚀(RIE)技术制作双层闪耀光栅,通过轮廓仪进行测 试。研究结果表明,双层 闪耀光栅的光学特性受微结构形状误差影响较大,当光线垂直照射双层闪耀光栅时,出射光 与入射光形成20°夹角,实现了激光非逆反射的目的。
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| 关 键 词： | 激光防护 非逆反射 双层闪耀光栅 反应离子刻蚀(RIE) |
| 收稿时间： | 2015/10/27 0:00:00 |
Research on the non-backward reflective double-layer blazed grating for the laser protection |
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| Affiliation: | School of OptoElectronic Engineering ,Changchun University of Science and techn ology,Changchun 130022,China;School of OptoElectronic Engineering ,Changchun University of Science and techn ology,Changchun 130022,China;School of OptoElectronic Engineering ,Changchun University of Science and techn ology,Changchun 130022,China;School of OptoElectronic Engineering ,Changchun University of Science and techn ology,Changchun 130022,China;School of OptoElectronic Engineering ,Changchun University of Science and techn ology,Changchun 130022,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser safety non-backward reflective double-layer blazed grating reactive i on etching (RIE) |
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