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| 测量聚合物薄膜厚度的一种简便方法 | |
| 引用本文： | 任诠,王志刚.测量聚合物薄膜厚度的一种简便方法[J].光电子．激光,1998,9(1):35-36. |
| 作者姓名： | 任诠 王志刚 |
| 作者单位： | 山东大学光学系，山东大学晶体材料研究所，山东大学实验中心 |
| 摘 要： | 本文介绍了用准波导耦合ｍ线技术测量聚合物薄膜厚度的方法。测量结果表明，薄膜样品厚度的误差为３．６２×１０＾－２μｍ。并对测量精度作了分析和讨论。 |
| 关 键 词： | 聚合物薄膜 准波导 厚度测量 薄膜 |
Simple Method for Determination of the Thickness of Polymer Film |
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| Ren,Quan Wang,Zhigang Liu,Xuemin Guo,Shiyi Mu,Xiaodong Xu,Dong Shang,Shuxia.Simple Method for Determination of the Thickness of Polymer Film[J].Journal of Optoelectronics·laser,1998,9(1):35-36. | |
| Authors: | Ren Quan Wang Zhigang Liu Xuemin Guo Shiyi Mu Xiaodong Xu Dong Shang Shuxia |
| Abstract: | |
| Keywords: | polymer thin film quasi waveguide thickness measurement |
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