| MEMS 静电执行光开关的设计与实验 |
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| 引用本文： | 王科平,葛峻,秦明.MEMS 静电执行光开关的设计与实验[J].电子器件,2003,26(3):240-243,252. |
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| 作者姓名： | 王科平 葛峻 秦明 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMES教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 华为科技基金8506003022的资助 |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于静电执行的自对准型垂直镜面微机械光开关，该光开关由垂直反射镜面、悬臂梁、光纤定位槽等组成。微反射镜和V型光纤定位槽的自对准由同一块掩膜板实现。微反射镜和V字型光纤槽通过对(100)单晶硅的各向异性腐蚀实现。论文给出光开关的结构设计，并实验验证了上述自对准光开关的加工工艺。
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| 关 键 词： | MEMS 光开关 静电执行 自对准 |
| 文章编号： | 1005-9490(2003)03-0240-04 |
Design and Experiment of MEM Optical Switch by Electrostatic Actuation |
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| WANG Keping\ \ GE Jun\ \ QIN Ming ,P.R.China.Design and Experiment of MEM Optical Switch by Electrostatic Actuation[J].Journal of Electron Devices,2003,26(3):240-243,252. |
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| Authors: | WANG Keping\ \ GE Jun\ \ QIN Ming PRChina |
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| Affiliation: | WANG Keping\ \ GE Jun\ \ QIN Ming 210096,P.R.China) |
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| Abstract: | Abstract: ?? In this paper, we report on a new self??aligned vertical mirror MEM optical switch by electrostatic actuation.
The device is composed of a vertical mirror, a cantilever and V- grooves. The mirror and V- grooves are fabricated in a
one- lever mask by bulk micromachining of ( 100) monocrystalline silicon with anisotropic wet etchants. The fabrication
process will be validated by experiment . |
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| Keywords: | MEMS optical switch electrostatic actuation self-align |
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