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声学扫描技术在高可靠领域塑封器件检测中的应用
引用本文:李永正,党炜,李昕昕,张泽明.声学扫描技术在高可靠领域塑封器件检测中的应用[J].电子器件,2018,41(1).
作者姓名:李永正  党炜  李昕昕  张泽明
作者单位:中国科学院空间应用工程与技术中心
基金项目:中国科学院青年创新促进专项基金
摘    要:为了提高塑封器件在高可靠应用领域的可靠性,需要使用扫描声学显微镜检测塑封器件内部界面分层、空洞和裂纹等缺陷。介绍了扫描声学显微镜的工作机理和几种主要扫描模式。综合分析了大量检测实例,指出塑封器件内部典型缺陷的特点和辨别方法,对扫描声学显微镜在塑封器件无损检测方面具有参考意义。此外,对现行的扫描声学显微镜检测塑封器件的检测标准提出了改进建议。

关 键 词:塑封器件  缺陷研究  超声波扫描  检测标准  可靠性

Application of Scanning Acoustic Technology in the Detection of Plastic Encapsulated Device in the High Reliability Field
Abstract:
Keywords:Plastic Encapsulated Device  Defect Research  Ultrasonic Scanning  Detection Standard  Reliability
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