| 针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真 |
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| 引用本文： | 马佩军,郝跃,刘红侠.针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真[J].半导体学报,2001,22(1):102-106. |
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| 作者姓名： | 马佩军 郝跃 刘红侠 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子所，西安710071 |
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| 摘 要： | 对集成电路针孔缺陷引起功能成品率下降的模型进行了研究 ,给出了分析和仿真针孔功能成品率的两种计算方法—— Monte- Carlo方法和关键面积提取方法 ,这对集成电路成品率设计和分析是非常重要的
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| 关 键 词： | 集成电路 Monte-Carlo方法 仿真 |
| 文章编号： | 0253-4177(2001)01-0102-05 |
| 修稿时间： | 1999年6月18日 |
Analysis and Simulation of Effect of Pinhole Defects on Integrated Circuits Functional Yield |
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| MA Pei- jun,HAO Yue and LIU Hong- xia.Analysis and Simulation of Effect of Pinhole Defects on Integrated Circuits Functional Yield[J].Chinese Journal of Semiconductors,2001,22(1):102-106. |
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| Authors: | MA Pei- jun HAO Yue and LIU Hong- xia |
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| Abstract: | Modelling the functional yield loss of integrated circuits caused by pinhole defects is under study on the basis of Monte- Carlo statistical m ethod and critical area algorithm,which are presented for the sim ulation of the functional yield deter- mined by pinhole defects,as is of great importance in yield- im provement design. |
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| Keywords: | IC Monte- Carlo method sim ulatio |
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