| 5.36μm InP基一维光子晶体量子级联激光器 |
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| 引用本文： | 李路,邵烨,刘俊岐,刘峰奇,王占国.5.36μm InP基一维光子晶体量子级联激光器[J].半导体学报,2008,29(7):1278-1280. |
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| 作者姓名： | 李路 邵烨 刘俊岐 刘峰奇 王占国 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室，北京 100083;中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室，北京 100083;中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室，北京 100083;中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室，北京 100083;中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室，北京 100083 |
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| 基金项目： | 国家杰出青年科学基金;国家重点基础研究发展计划 |
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| 摘 要： | 制作了基于InP基量子级联激光器的一维光子晶体.采用普通光学曝光的方法代替电子束曝光,结合反应耦合等离子刻蚀,在激光器的一侧腔面制作出4个周期的空气/半导体对作为Bragg反射器.对于一个22μm宽,2mm长的正焊器件,80K下的光谱测试证实了其准连续激射,激射波长为5.36μm.
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| 关 键 词： | 量子级联激光器 光子晶体 准连续波 quantum cascade laser photonic crystal quasi-continuous-wave |
| 文章编号： | 0253-4177(2008)07-1278-03 |
| 修稿时间： | 2007年10月23 |
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