| VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池 |
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| 引用本文： | 张晓丹,赵颖,朱锋,魏长春,高艳涛,孙健,侯国付,薛俊明,耿新华,熊绍珍.VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池[J].半导体学报,2005,26(5):952-957. |
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| 作者姓名： | 张晓丹 赵颖 朱锋 魏长春 高艳涛 孙健 侯国付 薛俊明 耿新华 熊绍珍 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)
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天津市教委资助项目
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教育部科学技术研究项目
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国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 采用VHF-PECVD技术制备了不同功率系列的微晶硅薄膜和电池，测试结果表明：制备的适用于微晶硅电池的有源层材料的暗电导和光敏性都在电池要求的参数范围内．低功率或高功率条件下，电池从n和p方向的喇曼测试结果是不同的，在晶化率方面材料和电池也有很大的差别，把相应的材料应用于电池上时，这一点很重要．采用VHFPECVD技术制备的微晶硅电池效率为5%，Voc=0.45V,Jsc=22mA/cm2,FF=50%,Area=0.253cm2．
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| 关 键 词： | 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜 微晶硅电池 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)05-0952-06 |
| 修稿时间： | 2004年6月5日 |
Microcrystalline Silicon Material and Solar Cells Fabricated by VHF-PECVD |
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| Zhang Xiaodan,Zhao Ying,Zhu Feng,Wei Changchun,Gao Yantao,Sun Jian,Hou Guofu,Xue Junming,Geng Xinhua,Xiong Shaozhen.Microcrystalline Silicon Material and Solar Cells Fabricated by VHF-PECVD[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(5):952-957. |
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| Authors: | Zhang Xiaodan Zhao Ying Zhu Feng Wei Changchun Gao Yantao Sun Jian Hou Guofu Xue Junming Geng Xinhua Xiong Shaozhen |
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| Abstract: | A series of microcrystalline silicon films and s olar cells are deposited at different powers using VHF-PECVD.The results of dark conductivity and photosensitivity show active materials deposited are suitable for the application of solar cells.Raman results of solar cells measured from p and n sides are different.Crystalline volume fraction (X c) of materials and solar cells have evident dissimilarity,which is very important for solar cells.Conversion efficiency 5% of microcrystalline silicon solar cells is obtained. |
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| Keywords: | very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition microcrystalline silicon thin film microcrystalline silicon solar cell |
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