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掺Sm2O3的SnO2纳米粉体对C2H2气敏特性的研究
引用本文:范会涛,张彤,漆奇,刘丽.掺Sm2O3的SnO2纳米粉体对C2H2气敏特性的研究[J].半导体学报,2008,29(2).
作者姓名:范会涛  张彤  漆奇  刘丽
作者单位:1. 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012
2. 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012;吉林大学物理学院朝阳校区物理中心,长春,130012
基金项目:吉林省科技厅科研项目,低维材料及其应用技术教育部国家重点实验室开放基金
摘    要:用化学沉淀法制备了SnO2纳米材料,利用XRD和SEM对合成产物进行了表征.采用旁热式结构制成了以SnO2为基体材料,掺杂Sm2O3的气体传感器.通过元件对C2H2气敏特性的测试表明:Sm2O3的掺杂可以明显地提高SnO2气敏材料对C2H2气体的灵敏度,当工作温度为180℃,C2H2浓度为1000ppm时,元件的灵敏度为64,响应恢复时间分别为3和20s.讨论了不同相对湿度对元件气敏特性的影响.

关 键 词:SnO2  Sm2O3  C2H2  气敏元件  纳米粉体

Preparation and C2H2 Sensing Characteristics of Sm2O3-Doped SnO2 Gas Sensors
Fan Huitao,Zhang Tong,Qi Qi,Liu Li.Preparation and C2H2 Sensing Characteristics of Sm2O3-Doped SnO2 Gas Sensors[J].Chinese Journal of Semiconductors,2008,29(2).
Authors:Fan Huitao  Zhang Tong  Qi Qi  Liu Li
Abstract:
Keywords:
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