| MEMSE类放大器 |
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| 引用本文： | 顾洪明,吕苗,梁春广,高葆新.MEMSE类放大器[J].半导体学报,2003,24(4):401-405. |
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| 作者姓名： | 顾洪明 吕苗 梁春广 高葆新 |
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| 作者单位： | [1]清华大学电子工程系,北京100084 [2]河北半导体研究所,石家庄050051 |
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| 基金项目： | 信息产业部电子十三所砷化镓高速集成电路国防重点实验室 (批准号 :0 0 JS0 2 .7.1.JS0 2 0 6)，北京大学微米纳米加工技术国防科技重点实验室资助项目 (批准号 :0 0 S97.4.1.DJ2 3 0 6)~~ |
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| 摘 要： | 对采用 MEMS开关的 E类放大器进行了原型仿真 ,并且通过工艺流片制作 MEMS开关 ,搭建 E类放大器电路进行测试 .测试结果显示 ,这种机械式的放大器同样能实现有源放大器的功能 .测试得到的放大器实际效率与原型模拟结果一致 ,而放大器的功率增益高达 2 0 0 0 .
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| 关 键 词： | MEMS 开关 E类放大器 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)04-0401-05 |
| 修稿时间： | 2002年5月30日 |
MEMS Class E Amplifier |
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| Abstract: | A class E amplifier can be constructed using either bipolar transistor or MEMS switch.Because of the intrinsic properties of MEMS switch,the amplifier may easily get high efficiency and high power gain.This concept is demonstrated by prototype design and measurement.The measured results show that the mechanical amplifier can act as the active amplifier,with the amplifier efficiency agrees well with the simulation result,and the amplifier power gain tested as high as 2000. |
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| Keywords: | MEMS switch class E amplifier |
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