| 硅基二氧化硅阵列波导光栅相位误差数值分析 |
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| 引用本文： | 安俊明,夏君旨,李健,郜定山,李建光,王红杰,胡雄伟.硅基二氧化硅阵列波导光栅相位误差数值分析[J].半导体学报,2005,26(z1):220-224. |
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| 作者姓名： | 安俊明 夏君旨 李健 郜定山 李建光 王红杰 胡雄伟 |
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| 作者单位： | 内蒙古大学物理系,呼和浩特,010021;中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083,唐山工业职业技术学院,唐山,063000,中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)
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国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用传输函数法对硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG)的相位系统误差和随机误差进行了详细的分析.系统误差的模拟结果表明阵列波导的有效折射率和相邻阵列波导长度差ΔL的偏移将会对使中心波长λ0偏离设计值,平板波导有效折射率、阵列波导的间距、罗兰圆聚焦长度R的偏移会使通道间隔偏离设计值.随机误差的模拟结果表明相邻阵列波导长度差、阵列波导中芯区折射率、芯区宽度、芯区厚度的随机波动对AWG的串扰影响较大,而波导上、下包层折射率的波动对AWG串扰影响较小.
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| 关 键 词： | 阵列波导光栅 串扰 相位误差 数值分析 硅基二氧化硅 阵列波导光栅 相位误差 数值分析 Arrayed Waveguide Grating Phase Error Analysis 随机波动 包层 影响 串扰 厚度 宽度 有效折射率 通道间隔 聚焦 罗兰圆 间距 平板波导 设计值 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)S0-0220-05 |
| 修稿时间： | 2004年11月8日 |
Numerical Analysis for Phase Error of Silica-Based Arrayed Waveguide Grating |
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| An Junming,Xia Junzhi,Li Jian,Gao Dingshan,Li Jianguang,Wang Hongjie,Hu Xiongwei.Numerical Analysis for Phase Error of Silica-Based Arrayed Waveguide Grating[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(z1):220-224. |
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| Authors: | An Junming Xia Junzhi Li Jian Gao Dingshan Li Jianguang Wang Hongjie Hu Xiongwei |
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