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| MEMS E类放大器 | |
| 引用本文： | 顾洪明,吕苗,梁春广,高葆新.MEMS E类放大器[J].半导体学报,2003,24(4). |
| 作者姓名： | 顾洪明 吕苗 梁春广 高葆新 |
| 作者单位： | 1. 清华大学电子工程系,北京,100084 2. 河北半导体研究所,石家庄,050051 |
| 基金项目： | 国防科技重点实验室基金，国防科技重点实验室基金 |
| 摘 要： | 对采用MEMS开关的E类放大器进行了原型仿真,并且通过工艺流片制作MEMS开关,搭建E类放大器电路进行测试.测试结果显示,这种机械式的放大器同样能实现有源放大器的功能.测试得到的放大器实际效率与原型模拟结果一致,而放大器的功率增益高达2000. |
| 关 键 词： | MEMS 开关 E类放大器 |
MEMS Class E Amplifier |
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