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激射波长为820nm的大功率分布反馈激光器
引用本文:付生辉,钟源,宋国峰,陈良惠.激射波长为820nm的大功率分布反馈激光器[J].半导体学报,2006,27(6).
作者姓名:付生辉  钟源  宋国峰  陈良惠
作者单位:中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院半导体研究所,北京,100083
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划)
摘    要:通过将二级光栅直接刻在脊形波导AlGaInAs/AlGaAs DFB激光器的无铝光波导层上,实现了波长约为820nm,单面功率为30mW的单纵模激光器.由于采用无铝光栅,保证了二次外延质量,从而得到较好的器件性能.激光器的阈值电流为57mA,斜率效率约为0.32mW/mA.

关 键 词:分布反馈激光器  无铝光栅  脊形波导

High-Power Distributed Feedback Laser Diodes Emitting at 820nm
Fu Shenghui,Zhong Yuan,Song Guofeng,Chen Lianghui.High-Power Distributed Feedback Laser Diodes Emitting at 820nm[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(6).
Authors:Fu Shenghui  Zhong Yuan  Song Guofeng  Chen Lianghui
Abstract:By etching a second-order grating directly into the Al-free optical waveguide region of a ridgewaveguide(RW) AlGaInAs/AlGaAs distributed feedback(DFB) laser diode,a front facet output power of 30mW is obtained at about 820nm with a single longitudinal mode. The Al-free grating surface permits the re-growth of a high-quality cladding layer that yields excellent device performance. The threshold current of these laser diodes is 57mA,and the slope efficiency is about 0.32mW/mA.
Keywords:distributed feedback laser diodes  Al-free gratings  ridge-waveguide
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