AlN/GaAs界面的AES和XPS研究 |
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引用本文: | 曹昕,罗晋生,陈堂胜,陈克金.AlN/GaAs界面的AES和XPS研究[J].半导体学报,1999,20(7):539-542. |
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作者姓名: | 曹昕 罗晋生 陈堂胜 陈克金 |
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作者单位: | [1]西安交通大学微电子所 [2]南京电子器件研究所 |
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摘 要: | 在室温下用直流磁控反应溅射的方法制备了AlN薄膜.用AES方法和XPS方法分析了AlN膜和AlN/GaAs界面.在AlN/GaAs界面发现了O—Al键,没有发现O—Ga键或O—As键.本文通过实验证明,AlN/GaAs界面的O元素在AlN淀积过程中从GaAs表面转移到AlN膜中.这与通过PECVD方法淀积AlN薄膜形成的AlN/GaAs界面完全不同.由于AlN/GaAs界面的O元素是与Al结合的,因此有较好的界面特性.这是直流磁控反应溅射方法制备的AlN薄膜适用于GaAs器件钝化的主要原因
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关 键 词: | 砷化镓 氮化铝 AES XPS 半导体薄膜技术 |
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