| 一种具有"8悬臂梁-质量块"结构的新型硅微加速度计 |
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| 引用本文： | 王育才,焦继伟,段飞,张颖,宓斌玮,李金鹏,钱清,王跃林.一种具有"8悬臂梁-质量块"结构的新型硅微加速度计[J].半导体学报,2007,28(5). |
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| 作者姓名： | 王育才 焦继伟 段飞 张颖 宓斌玮 李金鹏 钱清 王跃林 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100049;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 提出了一种具有"8悬臂梁-质量块"结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(111)硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性结合深反应离子刻蚀(DRIE)实现的,其尺度精确可控,保证了结构的对称性.该加速度计的谐振频率为2.08kHz,品质因子Q为21.4,灵敏度为93.7mV/g.
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| 关 键 词： | 微加速度计 微机械加工 各向异性腐蚀 |
Design and Fabrication of an Accelerometer with Novel "8-Beams/Mass" Structure |
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| Wang Yucai,Jiao Jiwei,Duan Fei,Zhang Ying,Mi Binwei,Li Jinpeng,Qian Qing,Wang Yuelin.Design and Fabrication of an Accelerometer with Novel "8-Beams/Mass" Structure[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(5). |
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| Authors: | Wang Yucai Jiao Jiwei Duan Fei Zhang Ying Mi Binwei Li Jinpeng Qian Qing Wang Yuelin |
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