| 热氧化制备纳米氧化锌薄膜的光致发光和室温紫外激光发射 |
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| 引用本文： | 张喜田,刘益春,支壮志,张吉英,申德振,许武,钟国柱,范希武.热氧化制备纳米氧化锌薄膜的光致发光和室温紫外激光发射[J].半导体学报,2003,24(1):44-48. |
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| 作者姓名： | 张喜田 刘益春 支壮志 张吉英 申德振 许武 钟国柱 范希武 |
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| 作者单位： | 哈尔滨师范大学物理系，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态实验室，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态实验室，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态实验室，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态实验室，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态实验室，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态实验室，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态实验室 哈尔滨150080，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态实验室，长春130021，长春130021，长春130021，长春130021，长春130021，长春130021，长春130021，长春130021 |
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| 基金项目： | 中国科学院百人计划项目，国家自然科学基金 (批准号 :698962 60 )，长春光学精密机械与物理研究所创新基金，国家教委杰出青年教师基金，吉林省杰出青年学者计划，黑龙江省自然科学基金资助项目~~ |
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| 摘 要： | 利用低压 -金属有机汽相外延 (L P- MOCVD)工艺首先在二氧化硅衬底上生长硫化锌 (Zn S)薄膜 ,然后 ,将硫化锌薄膜在氧气中于不同温度下进行热氧化 ,制备出高质量的纳米氧化锌 (Zn O )薄膜 .X射线衍射 (XRD)结果表明 ,氧化锌具有六角纤锌矿晶体结构 .90 0℃氧化样品的光致发光 (PL )谱中 ,在波长为 3.3e V处观察到一束强紫外光致发光和相当弱的深能级发射 .紫外发光强度与深能级发射强度之比是 80 ,表明纳米 Zn O薄膜的高质量结晶 .在受激发射实验中观察到紫外激光发射 .
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| 关 键 词： | 纳米 热氧化 ZnO薄膜 光致发光 光泵浦激光发射 自由激子 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)01-0044-05 |
| 修稿时间： | 2002年3月29日 |
Investigation on Nanocrystalline ZnO Thin Films Prepared by Thermal Oxidation of ZnS Thin Films |
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| Zhang Xitian ,Liu Yichun ,Zhi Zhuangzhi ,Zhang Jiying ,Shen Dezhen ,Xu Wu ,Zhong Gouzhu and Fan Xiwu.Investigation on Nanocrystalline ZnO Thin Films Prepared by Thermal Oxidation of ZnS Thin Films[J].Chinese Journal of Semiconductors,2003,24(1):44-48. |
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| Authors: | Zhang Xitian Liu Yichun Zhi Zhuangzhi Zhang Jiying Shen Dezhen Xu Wu Zhong Gouzhu and Fan Xiwu |
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| Affiliation: | Zhang Xitian 1,2,Liu Yichun 2,Zhi Zhuangzhi 2,Zhang Jiying 2,Shen Dezhen 2,Xu Wu 2,Zhong Gouzhu 2 and Fan Xiwu 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanometer thermal oxidation ZnO thin film photoluminescence optically pumped lasing free exciton |
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