| 1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用 |
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| 引用本文： | 张晓丹,张发荣,赵颖,陈飞,孙建,魏长春,耿新华,熊绍珍.1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用[J].半导体学报,2007,28(2). |
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| 作者姓名： | 张晓丹 张发荣 赵颖 陈飞 孙建 魏长春 耿新华 熊绍珍 |
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| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家自然科学基金，天津市自然科学基金，中国-希腊政府间合作基金和新世纪优秀人才计划资助项目 |
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| 摘 要： | 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料.材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大,通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知:获得了沉积速率超过1 nm/s高速率器件质量级微晶硅薄膜,并且也初步获得了效率达6.3%的高沉积速率微晶硅太阳电池.
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| 关 键 词： | 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜太阳电池 高沉积速率 |
Fabrication of 1nm/s High Deposition Microcrystalline Silicon and Its Application in Solar Cells |
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| Zhang Xiaodan,Zhang Farong,Zhao Ying,Chen Fei,Sun Jian,Wei Changchun,Geng Xinhua,Xiong Shaozhen.Fabrication of 1nm/s High Deposition Microcrystalline Silicon and Its Application in Solar Cells[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(2). |
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| Authors: | Zhang Xiaodan Zhang Farong Zhao Ying Chen Fei Sun Jian Wei Changchun Geng Xinhua Xiong Shaozhen |
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