| 开路缺陷的软故障关键面积研究 |
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| 引用本文： | 陈太峰,郝跃,马佩军,张进城,赵天绪,刘宁.开路缺陷的软故障关键面积研究[J].半导体学报,2002,23(6):651-654. |
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| 作者姓名： | 陈太峰 郝跃 马佩军 张进城 赵天绪 刘宁 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子所,西安,710071 |
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| 摘 要： | 从软故障的产生机制出发,研究了软故障的作用模式.为了计算软
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| 关 键 词： | 软故障 硬故障 互连线 关键面积 |
| 文章编号： | 0253-4177(2002)06-0651-04 |
| 修稿时间： | 2001年10月17日 |
A Study of Critical Area Extration for Soft Fault of Opens |
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| Chen Taifeng,Hao Yue,Ma Peijun,Zhang Jincheng,Zhao Tianxu and Liu Ning.A Study of Critical Area Extration for Soft Fault of Opens[J].Chinese Journal of Semiconductors,2002,23(6):651-654. |
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| Authors: | Chen Taifeng Hao Yue Ma Peijun Zhang Jincheng Zhao Tianxu and Liu Ning |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hard defect soft fault interconnect critical area |
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