| 用扫描热显微镜测量亚微米尺度的局域热参数分布 |
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| 引用本文： | 谢志刚,韩立,董占民,王秀凤,陈皓明,顾毓沁,晋宏师.用扫描热显微镜测量亚微米尺度的局域热参数分布[J].半导体学报,2000,21(6). |
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| 作者姓名： | 谢志刚 韩立 董占民 王秀凤 陈皓明 顾毓沁 晋宏师 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学物理系固体物理研究所,北京,100084
2. 清华大学机械系热物理教研室,北京,100084 |
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| 摘 要： | 从集总参数模型出发,分析了热敏电阻型热探针的热传导机制和热物性测量机理,说明了扫描热探针的信号与样品表面温度,样品与探针间的热阻以及样品热导率等因素有关.在不同的工作条件下,可用以进行表面的温度分布和局域热导分布等热参数的测量.把扫描热显微镜用于半导体激光器结区温度分布和室温下热桥样品的实际测量,得到的热象图提供了亚微米尺度的热参数信息.
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| 关 键 词： | 扫描热显微镜 热参数 热桥 半导体激光器 |
Sub-Microscale Temperature Distributions Measured by Scanning Thermal Microscopy |
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| XIE Zhi-gang,HAN Li,DONG Zhan-min,WANG Xiu-feng,CHEN Hao-ming,GU Yu-qin,JIN Hong-shi.Sub-Microscale Temperature Distributions Measured by Scanning Thermal Microscopy[J].Chinese Journal of Semiconductors,2000,21(6). |
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| Authors: | XIE Zhi-gang HAN Li DONG Zhan-min WANG Xiu-feng CHEN Hao-ming GU Yu-qin JIN Hong-shi |
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