| 基于C-V,I-V,Q-V特性的铁电电容新模型 |
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| 引用本文： | 陈小明,汤庭鳌.基于C-V,I-V,Q-V特性的铁电电容新模型[J].半导体学报,2005,26(5):983-989. |
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| 作者姓名： | 陈小明 汤庭鳌 |
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| 作者单位： | 复旦大学微电子学系ASIC和系统国家重点实验室,上海,200433;复旦大学微电子学系ASIC和系统国家重点实验室,上海,200433 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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应用材料(AM)基金
,
国防科技预研基金
,
PDC基金 |
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| 摘 要： | 推导出描述铁电电容电气特性的新模型．铁电电容可以等效为开关电容（电畴电容）和非开关电容（普通线性电容）的并联，而电畴电容可以看作是由电偶极子组成的铁电材料、上电极和下电极组成．根据实验测试的铁电电容的C-V特性，选定电偶极子矫顽电压的概率密度函数为t分布，从而推导出只用６个参数描述的铁电电容的C-V,I-V和Q-V关系式，根据这些关系式仿真的结果与实验结果基本吻合．
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| 关 键 词： | 铁电电容 模型 C-V特性 电偶极子 概率密度函数 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)05-0983-07 |
| 修稿时间： | 2004年5月31日 |
A New Model of Ferroelectric Capacitor Based on C-V, I-V,Q-V Characteristics |
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| Chen Xiaoming,Tang Ting''''ao.A New Model of Ferroelectric Capacitor Based on C-V, I-V,Q-V Characteristics[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(5):983-989. |
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| Authors: | Chen Xiaoming Tang Ting'ao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ferroelectric capacitor model C-V characteristic dipole probability density function |
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