| μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜的周期性结构和量子尺寸效应 |
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| 引用本文： | 徐明,王洪涛,冯良桓,周心明,蔡亚平,冯技文,徐宁,麦振洪.μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜的周期性结构和量子尺寸效应[J].半导体学报,2001,22(4):435-439. |
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| 作者姓名： | 徐明 王洪涛 冯良桓 周心明 蔡亚平 冯技文 徐宁 麦振洪 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院物理研究所，北京100080 [2]四川大学材料科学系，成都610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;59272095; |
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| 摘 要： | 利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸收边随着 a- Si∶ H层的减薄而蓝移 ,低温下的电导激活能 Ea 随着 a- Si∶ H层的减薄而减小 .
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| 关 键 词： | 射频辉光放电法 μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜 光学性质 电导激活能 |
| 文章编号： | 0253-4177（2001）04-0435-05 |
| 修稿时间： | 1999年11月2日 |
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