|
|||||
|
|
| 薄膜应力分析及一些测量结果 | |
| 引用本文： | 范瑞瑛,范正修.薄膜应力分析及一些测量结果[J].光学仪器,2001,23(5):84-91. |
| 作者姓名： | 范瑞瑛 范正修 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 摘 要： | 论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果. |
| 关 键 词： | 热应力 形变 沉积 老化 |
| 文章编号： | 1005-5630(2001)5/6-0084-08 |
| 修稿时间： | 2000年8月30日 |
Stress analysis of thin films and some testing results |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《光学仪器》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《光学仪器》下载全文 | |
