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薄膜应力分析及一些测量结果
引用本文:范瑞瑛,范正修.薄膜应力分析及一些测量结果[J].光学仪器,2001,23(5):84-91.
作者姓名:范瑞瑛  范正修
作者单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
摘    要:论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果.

关 键 词:热应力  形变  沉积  老化
文章编号:1005-5630(2001)5/6-0084-08
修稿时间:2000年8月30日

Stress analysis of thin films and some testing results
Abstract:
Keywords:
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