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微电子机械技术的发展与现状
引用本文:杨宏,王鹤.微电子机械技术的发展与现状[J].微电子学,2001,31(6):392-394.
作者姓名:杨宏  王鹤
作者单位:西安交通大学,
摘    要:文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容,介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统,以期提示未来的发展方向。

关 键 词:微电子机械系统  微执行器  微传感器  集成电路
文章编号:1004-3365(2001)06-0392-03
修稿时间:2001年4月2日

The State-of-the-Art of Micro Electro Mechanical Systems
YANG Hong,WANG He.The State-of-the-Art of Micro Electro Mechanical Systems[J].Microelectronics,2001,31(6):392-394.
Authors:YANG Hong  WANG He
Abstract:The evolution of micro electro mechanical system(MEMS) is reviewed in the paper The state of the art of technologies for MEMS is described Some promising MEMS products are examined, and problems associated with the technology are also discussed.
Keywords:Micro  electro  mechanical  system(MEMS)  Microactuator  Microsensor  
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