基于COMSOL的气敏薄膜初始电阻模拟计算

叉指电极可有效降低金属氧化物半导体气敏薄膜的测试电阻,有利于薄膜气敏性能的测量,已广泛用于薄膜型气体传感器上。而叉指电极的尺寸不仅会影响传感器表面的热量分布,也会对薄膜初始电阻造成影响。提出了解微分方程法计算叉指电极上气敏薄膜的初始电阻,推导了计算薄膜初始电阻的微分方程,采用COMSOL软件中的AC/DC模块,对特定尺寸叉指电极上的气敏薄膜在不同工作温度时初始电阻进行了仿真,并与实验进行了对比,证明了该方法的可行性。