| 半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化 |
| |
| 引用本文： | 李衍飞,江志斌.半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化[J].上海交通大学学报,2008,42(2):209-213. |
| |
| 作者姓名： | 李衍飞 江志斌 |
| |
| 作者单位： | 上海交通大学工业工程与管理系,上海,200240 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金
,
国家高技术研究发展计划(863计划)
,
高等学校博士学科点专项科研项目 |
| |
| 摘 要： | 从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现了全局优化效果,为实现SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法.
|
| 关 键 词： | 半导体晶圆制造系统 时变多目标 生产计划与调度 模糊控制 模拟退火法 半导体 晶圆制造 制造系统 时变 多目标 生产调度优化 System Fabrication Wafer Semiconductor Optimization Scheduling 有效策略 控制与调度 科学生产 优化效果 平衡 优化质量 速度 求解 |
| 文章编号： | 1006-2467(2008)02-0209-05 |
| 修稿时间： | 2007年3月13日 |
Production Scheduling Optimization with Time-Variable Multiple-Objectives for Semiconductor Wafer Fabrication System |
| |
| LEE Yen-fei,JIANG Zhi-bin.Production Scheduling Optimization with Time-Variable Multiple-Objectives for Semiconductor Wafer Fabrication System[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,2008,42(2):209-213. |
| |
| Authors: | LEE Yen-fei JIANG Zhi-bin |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
