| 基于混合蚁群算法的半导体生产线炉管区调度方法 |
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| 引用本文： | 蒋小康,张朋,吕佑龙,赵新明,张洁.基于混合蚁群算法的半导体生产线炉管区调度方法[J].上海交通大学学报,2020,54(8). |
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| 作者姓名： | 蒋小康 张朋 吕佑龙 赵新明 张洁 |
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| 作者单位： | 东华大学机械工程学院,上海216020;上海交通大学机械与动力工程学院,上海200240 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 炉管区是半导体生产线的主要瓶颈之一,对整个生产线的性能影响较大.当前针对炉管区调度研究以规则调度为主,且考虑约束较为简单,忽略了存在前后道工序影响的多机台调度以及晶圆加工的重入特性.针对具有等待时间约束、不兼容工艺菜单和重入特性的炉管区β_1→β_2调度问题,构建了目标为最小化晶圆平均流动时间的β_1→β_2调度模型.将该调度问题分成组批、设备选择及批排序3个阶段,提出了一种基于混合蚁群优化算法的炉管区调度算法.针对组批阶段,设计了一种可变阈值控制策略.针对批排序阶段,设计了混合蚁群优化算法.进行了历史生产数据的不同规模54组算例实验,结果表明:混合蚁群算法的性能均优于几种常用启发式规则和遗传算法的性能.将所提出的混合蚁群算法应用于实际晶圆生产线,能够有效减少生产过程中晶圆的流动时间.
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| 关 键 词： | 半导体制造 炉管 批调度 混合蚁群算法 |
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