一种新型的声表面波有机气体检测方法 ̄① |
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引用本文: | 戴恩光,冯冠平,何振华.一种新型的声表面波有机气体检测方法 ̄①[J].云南大学学报(自然科学版),1997(1). |
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作者姓名: | 戴恩光 冯冠平 何振华 |
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作者单位: | 清华大学精密仪器与机械学系(戴恩光,冯冠平),中科院电子所传感技术重点实验室(何振华) |
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摘 要: | 为进一步提高声表面波气体传感器的性能,这里研制一种全新的、采用声表面波谐振器的传感器。该种传感器与基于声表面波延迟线的传感器相比,具有低噪声和高灵敏度等特点。经实验验证,该方法为研制谐振式传感器提供了一个新的技术平台。
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关 键 词: | SAW谐振器,SAW延迟线,传感器 |
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