多线切割工艺断线问题的分析 |
| |
引用本文: | 苗广志,马玉通,赵文华.多线切割工艺断线问题的分析[J].科技资讯,2014(26):73-73. |
| |
作者姓名: | 苗广志 马玉通 赵文华 |
| |
作者单位: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 天津 300220 |
| |
摘 要: | 在多线切割工艺中,镀铜金属线对硅单晶切割片的质量有着重要影响,成为多线切割工艺需要控制的重要辅料。断线问题一直是困扰多线切割工艺人员的主要问题之一,一直得不到有效的解决,本文从材料、设备、工艺以及人员等多个视角对断线问题进行了分析,并给出相应的解决措施。
|
关 键 词: | 硅 钢线断线 多线切割 钢线破断力 |
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录! |
|