| 微型剪应力传感器的热特性分析 |
| |
| 引用本文： | 丁英涛,逯海波,仲顺安,谢君堂.微型剪应力传感器的热特性分析[J].北京理工大学学报,2009,29(5):427-430. |
| |
| 作者姓名： | 丁英涛 逯海波 仲顺安 谢君堂 |
| |
| 作者单位： | 北京理工大学,信息科学技术学院电子工程系,北京,100081;北京理工大学,信息科学技术学院电子工程系,北京,100081;北京理工大学,信息科学技术学院电子工程系,北京,100081;北京理工大学,信息科学技术学院电子工程系,北京,100081 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，北京理工大学基础研究项目 |
| |
| 摘 要： | 研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现:采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构,隔热效果最佳;选择相对较高的热敏元件温度和较高热物性系数的工作气体有助于获得较高的灵敏度.该结果对优化设计微型剪应力传感器具有通用的指导意义.
|
| 关 键 词： | 微电子机械系统 剪应力传感器 灵敏度 热敏元件 |
| 收稿时间： | 8/9/2008 12:00:00 AM |
Thermal Analysis of a Micro Shear-Stress Sensor |
| |
| DING Ying-tao,LU Hai-bo,ZHONG Shun-an and XIE Jun-tang.Thermal Analysis of a Micro Shear-Stress Sensor[J].Journal of Beijing Institute of Technology(Natural Science Edition),2009,29(5):427-430. |
| |
| Authors: | DING Ying-tao LU Hai-bo ZHONG Shun-an and XIE Jun-tang |
| |
| Affiliation: | Department of Electronic Engineering;School of Information Science and Technology;Beijing Institute of Technology;Beijing 100081;China |
| |
| Abstract: | Thermal analysis based on numerical simulation is carried out to study the performance of sensors with various micro-structures,thermal element temperature,and gas working media.The simulation results showed that the heat loss on the substrate is the smallest for the sensor with vacuum cavity.The numerical results also indicate that high thermal element temperature and high gas conduction coefficient are beneficial to the sensitivity. |
| |
| Keywords: | micro-electro-mechanical-systems (MEMS) shear-stress sensor sensitivity thermal element |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《北京理工大学学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《北京理工大学学报》下载全文 |
|
