| 风机过滤单元性能指标参考限值与初期设备优选 |
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| 引用本文： | 张爽,张万毅,徐浩然,陈旭,李晨林,王威,林忠平.风机过滤单元性能指标参考限值与初期设备优选[J].同济大学学报(自然科学版),2023,51(2):264-270. |
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| 作者姓名： | 张爽 张万毅 徐浩然 陈旭 李晨林 王威 林忠平 |
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| 作者单位： | 同济大学 机械与能源工程学院，上海 200092 |
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| 摘 要： | 为填补风机过滤单元（fan filter units）的研究及标准中未提供设备最优选择方式的空缺，基于积累的大量FFU性能测试数据以及国内半导体行业的用户要求提出FFU各性能指标的参考限值，并提出利用层次分析法（AHP）将设备性能定性评估进行定量化求解，计算各指标所占权重，合理对FFU设备进行初期优选。总结测试数据发现，常规工况下风机过滤单元的性能逐年提升，表现为设备能耗显著降低、面风速均匀性更优、设备稳定性更强、噪声更小。各性能指标明确主观重要性后经层次分析法进行权重计算，能耗性能指数EPI权重最大，面风速均匀性权重次之，过滤器阻力等指标权重较小。结合FFU设备性能测试结果，利用层次总排序计算出权重占比最大的设备为最优设备。
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| 关 键 词： | 风机过滤单元 性能指标限值 层次分析法 指标权重 优选 |
| 收稿时间： | 2021/10/6 0:00:00 |
Performance Index Reference Limits and Initial Selection Optimization of Fan Filter Units |
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| ZHANG Shuang,ZHANG Wanyi,XU Haoran,CHEN Xu,LI Chenlin,WANG Wei,LIN Zhongping.Performance Index Reference Limits and Initial Selection Optimization of Fan Filter Units[J].Journal of Tongji University(Natural Science),2023,51(2):264-270. |
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| Authors: | ZHANG Shuang ZHANG Wanyi XU Haoran CHEN Xu LI Chenlin WANG Wei LIN Zhongping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | fan filter unit(FFU) performance index limits analytic hierarchy process (AHP) index weight optimal selection |
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