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正在到来的微型机时代
引用本文:
Jeanne Mcdermott,李泽江.正在到来的微型机时代[J].世界科学,1985(11).
作者姓名:
Jeanne Mcdermott
李泽江
摘 要:
微小的机械装置——阀门、加速器、压力传感器等,会在硅片上成批地腐蚀,进而被切断为集成电路碎片。这些装置,如果依照微电子电路完善地按规定尺寸进行制造,就能理想地监测污染,辅佐医学研究,给机器人以触觉感,等等。
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