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介质反射光栅中多层膜计算的研究
引用本文:严晖,顾培夫.介质反射光栅中多层膜计算的研究[J].光学仪器,2006,28(4):27-30.
作者姓名:严晖  顾培夫
作者单位:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州 310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州 310027
摘    要:介绍了采用增强透射矩阵进行计算的严格耦合波方法,将这种方法应用到介质反射光栅的多层膜计算中。通过与商用软件计算结果的对比,证明这种计算方法的计算结果是准确可信的。与已有的计算方法比较,该方法简化了介质反射光栅的计算工作。

关 键 词:介质反射光栅  严格耦合波方法  增强透射矩阵  多层介质膜
文章编号:1005-5630(2006)04-0027-04
收稿时间:2006/6/30
修稿时间:2006年6月30日

Analysis on multilayer calculation of dielectric reflection gratings
YAN Hui,GU Pei-fu.Analysis on multilayer calculation of dielectric reflection gratings[J].Optical Instruments,2006,28(4):27-30.
Authors:YAN Hui  GU Pei-fu
Abstract:Stable implementation of the rigorous coupledwave analysis for surface-relief gratings,enhanced transmittance matrix approach, is presented.This method is applied to the calculation of dielectric reflection gratings.The calculating result is precise and credible.Comparing with the existed method,this analyse dramatically simplifies the simulation process.
Keywords:dielectric reflection gratings  rigorous coupled wave analysis  enhanced transmittance matrix  multilayer dielectric  
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