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Fe掺杂量和退火氛围对TiO2薄膜晶体结构和磁性能的影响
引用本文:顾建军,刘鹏飞,韩金荣,杨淑敏,韩伟,岂云开.Fe掺杂量和退火氛围对TiO2薄膜晶体结构和磁性能的影响[J].材料工程,2014(10):101-105.
作者姓名:顾建军  刘鹏飞  韩金荣  杨淑敏  韩伟  岂云开
作者单位:河北民族师范学院物理系,河北承德,067000
基金项目:河北省自然科学基金,河北省科技支撑计划项目,河北省承德市财政扶持项目,河北省教育厅自然科学研究青年基金
摘    要:采用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了不同Fe掺杂量的TiO2薄膜,并对薄膜分别在空气和真空氛围下500℃进行30min退火处理。研究了Fe掺杂量和退火氛围对TiO2薄膜的结晶状态、表面形貌和磁性能的影响。结果表明,真空中500℃下退火的Fe掺杂的TiO2薄膜表现为非晶态结构,没有观察到室温铁磁性能的出现,而空气中500℃退火的样品显示出良好的结晶状态,且所有掺杂的样品均显示出室温铁磁性,并且随着Fe掺杂量的增加,TiO2薄膜的晶体结构逐渐由锐钛矿相向金红石相转变。

关 键 词:稀磁半导体  晶体结构  铁磁性  退火氛围

Influence of Fe-doping and Annealing Atmosphere on Crystalline Structure and Magnetism of TiO2 Thin Films
GU Jian-jun,LIU Peng-fei,HAN Jin-rong,YANG Shu-min,HAN Wei,QI Yun-kai.Influence of Fe-doping and Annealing Atmosphere on Crystalline Structure and Magnetism of TiO2 Thin Films[J].Journal of Materials Engineering,2014(10):101-105.
Authors:GU Jian-jun  LIU Peng-fei  HAN Jin-rong  YANG Shu-min  HAN Wei  QI Yun-kai
Affiliation:GU Jian-jun;LIU Peng-fei;HAN Jin-rong;YANG Shu-min;HAN Wei;QI Yun-kai;Department of Physics,Hebei Normal University for Nationalities;
Abstract:
Keywords:diluted magnetic semiconductor  crystal structure  ferromagnetism  annealing atmosphere
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